洁净区尘埃粒子数监测标准操作规程

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洁净区尘埃粒子数监测标准操作规程

文件洁净区尘埃粒子数监测标准操作规程编号SOP•09•1017版本2页码1/4编制 日 期 替代∕审定 日 期 颁发质量保障部批准 日 期 生效年1月20日发放质保中心依据:目的:建立洁净区尘埃粒子数监测标准操作规程范围:生产车间洁净区、生测室1.洁净标准:测试仪器及测试条件。洁净级别及标准洁净级别尘粒数/立方米≥0.5um>5um100级3500010000级3500002000100000级350000020000300000级1050000600002.测试仪器Y09-9型激光离子数计数器3测试条件 3.1静态测试:系指洁净厂房的空气净化系统已处于正常运行状态,生产设备已安装,室内没有生产人员的测试。3.2动态测试:洁净厂房的空气净化系统已处于正常状态,生产设备及生产人员已处于正常生产状态的测试。3.3测试工作应在动态条件下进行。3.4采样管为仪器所使用的。3.5仪器须经预热进入稳定状态后,方可测试记录,每个测试点连续3—5次(即连续读数)每次检测周期为2min,采样量5.66L/min。3.6测试时,对环境测试参数应有记录。4、测试点的确定及采样次数4.1万级、十万级洁净区域的测试,根据洁净区域的面积的大小及形状选择测试点应遵循。4.1.1平而面积小于5平方米且呈狭长形状的区域,可设3个检测点。如图:--☉--☉---☉---123☉----------☉☉23 4.1.2平均面积大于5平方米,小于30平方米的区域,可用对角线五点法。☉☉☉☉☉4.1.3平面面积大于30平方米的区域可适当增加检测点。5.测试数据的处理及判断5.1如各测试点的测试植均不超过(超过)该洁净级别规定的限度时,即可判为符合(不符合)洁净级别要求。5.1.1测试结果取各测试点读数平均值时,按公式C=(C1+C2+C3+…+Cm)/m计算,单位:个/平方米式中:C1、C2、…Cn分别为第1、2…、m为次读值,m为采样次数。5.1.2测试结果全部测试点测试平均值时,按公式N=(C1+C2+C3+…+Cn)/n计算,单位:个/平方米式中:C1、C2、…Cn分别为第1、2…、n为测试值,n为测试点数。5.2如在选定的所有测试点中,各测试点的测试值出现有超过或不超过该洁净级别规定的限度时,按下列公式计算:(1)分别求出各采样次数的平均值,单位:个/平方米C=(C1+C2+C3+…+Cm)/m(m为采样次数)(2)求全部采样测试点的平均值,单位:个/立方米N=(C1+C2+C3+…+Cn)/n(n为测试点数)(3)求平均值的标准误差 c、求平均值的标准误差ndN=Σ(Ci-Ci-1)i=1n(n-1)求95%置信上限UCLUCL=N±t×dN(t为系数),单位:个/立方米95%置信上限的系数(t)表:测试点数34567—9lO一16t2.92.42.12.O1.91.8计算结果ucl值若不超过洁净级别规定限度时,可判为符合洁净级别要求。若UCL值超过洁净级别规定的限度时,则判为不符合洁净级别要求。6、测定注意事项6.1检查时测定仪器正常,并作外表洁净后方可进入测试环境,采样管必须清洁,仪器按规定预热稳定。6.2测试点及采样次数均应在测试开始前确定,防止在测试过程随意改变测试点及改变采样次数。6.3对不同洁净级别分别商量定时应从含尘粒浓度由低至高的次序进行,即先测100级后测10000级。6.4更换测试点时,应待仪器读数下降至稳定后,方可开始新测试点读数。6.5进入洁净厂房的测试人员不超过2人。测试过程中测试人员应位于采样口的下风侧。 6.6测试结果不符合洁净级别要求,应按原方法重复一次,并且两个测试点的采样次数增加2次,重复测试结果符合规定时,即判定为符合该洁净级别的要求。
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